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南大光电浸没式光刻机搬入仪式举行
梁群沈恩东出席
http://www.blnews.com.cn  北仑腾耀娱乐主管网  2020年04月16日 19:53
2020年04月16日 19:53

  本网讯(记者 贾骐帆 通讯员 王俊)4月16日上午,宁波南大光电材料有限公司浸没式光刻机搬入仪式举行,标志着中国芯片制造关键材料产业迈出重要一步。市委常委、区委书记梁群出席仪式。区领导沈恩东、朱晓雄、潘群威等出席。

  据了解,宁波南大光电材料有限公司是江苏南大光电材料股份有限公司于2018年1月在北仑区芯港小镇成立的光刻胶配套材料子公司。项目总投资15.6亿元,年产25吨ArF光刻胶。

  光刻胶是集成电路制造的关键电子材料之一。我国IC行业使用的光刻胶几乎完全依赖进口,这种局面亟待改变。没有光刻机,开发和产业化光刻胶很难实现。在国家“02-专项”和北仑区政府的支持下,南大光电率先购买了193纳米浸没式光刻机,用于光刻胶产品开发。通过这台进口光刻机,南大光电可以对公司生产的光刻胶产品进行质量验证,这样南大光电的光刻胶产品才可以进军国际市场,主动参与国际高端光刻胶市场的竞争。

  这台193纳米光刻机进厂后,南大光电后期也将建成国内第一个专业用于ArF光刻胶产品开发和生产的检测评估平台,同时建立配套完整的国产光刻胶产业链。

  光刻机被誉为“超精密制造技术皇冠上的明珠”,是集成电路制造最核心的设备。宁波南大光电材料有限公司作为重点领域的骨干企业,为落实国家创新驱动发展战略,解决“卡脖子”问题作出了重要贡献。如今,这台浸没式光刻机将为国产光刻胶性能保驾护航,有力推动集成电路产业所需的高端光刻胶产品开发与产业化应用。

  沈恩东强调,光刻胶是中国芯片国产化的一个关键环节。希望南大光电坚守初心,实业强国,深耕国产光刻胶研发,加速光刻胶国产化替代,努力打造成为一个国产光刻胶产业基地。南大光电拥有许多有梦想与激情的青年技术人员。青年人的成长,是集成电路产业未来发展的基石,希望大家不畏艰辛、勇于探索,努力钻研专业知识,努力赶超世界强国,为祖国美好的明天贡献自己的青春和力量。

编辑:乐佳玮 稿源:
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